ウエハ製造工程に安心してお使いいただけるよう、超高純度・低金属・低パーティクルを徹底管理したプロセス材料および消耗品を提供しております。
シリコンインゴット及びウエハ製造工程において、用途・条件に合わせた材料や技術を提案いたします。
詳しくはお気軽にお問合せください。
シリコン インゴット製造工程
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合成石英粉 三菱合成石英
- 特徴：
- 超高純度の合成石英粉。高純度・低異物を要求される高機能石英ガラス（シリカガラス）の原料として最適です。
- 提供形態：
- 粉末（粒度 D50 [μm] 60-200）
ウエハ切断・加工工程
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窒化ガリウム（GaN）基板
- 特徴：
- HVPEと呼ばれるエピタキシャル技術と化合物半導体の加工技術を用いた、高品質な単結晶基板です。
均一かつ高品位な結晶性と表面品質が特長です。 - 提供形態：
- 基板
