超高純度の合成石英粉。高純度・低異物を要求される高機能石英ガラス(シリカガラス)の原料として最適です。

CASNo.:
60676-86-0
EINECS:
262-373-8
化審法:
1-548
安衛法:
1-548

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特徴

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三菱合成石英はシリコンアルコキシドを原料とした世界最高純度の合成石英「粉」であり、30年以上の年月をかけて製造技術に磨きをかけた製品です。
高機能石英ガラス製品の原料であり、各種金属元素を極めて低いレベルに抑えることが可能です。

高集積化が進む半導体製造に欠かせない材料であり、高純度石英パーツ・シリコンウェハ製造用石英坩堝の原料としてご使用いただいています。
また、各種光学用途向けには紫外域から赤外域まで優れた透過性を有するガラスの製造が可能です。

用途

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  • 半導体用途
    • 半導体製造装置内パーツ
    • シリコンウェハ製造用石英坩堝
  • 通信用途
    • 光ファイバー
  • 医療用途
    • PET装置用シンチレーター単結晶
    • UV石英ランプ管

一般性状

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分子式 SiO2
粒 度 D50[μm]60-200(詳細はお問い合わせください)
嵩密度 [g/cc] 1.25
純 度 Al[ppm]0.01> Na[ppm]0.01> Ca[ppm]0.01>
Ti[ppm]0.01> Fe[ppm]0.02 K[ppm]0.01>
OH含有量[ppm] 30-60(詳細はお問い合わせください)

荷姿

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ファイバードラム 50kg入り、200kg 入り

製品に関するお問い合わせ


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三菱ケミカル株式会社インフォメーション&エレクトロニクス事業部
半導体マテリアルズビジネスユニット
  • TEL:03-6748-7168

合成石英グループ

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