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- 三菱ケミカル株式会社 半導体セクター
- 半導体マテリアルズユニット
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TEL:03-6748-7168
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シリコンアルコキシドを原料とした、超高純度の合成石英粉。高純度を要求される石英ガラス（シリカガラス）の原料として最適です。
- CASNo.：
- 60676-86-0
- EINECS：
- 262-373-8
- 化審法：
- 1-548
- 安衛法：
- 1-548
特徴
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化学的に精製されたSi化合物（シリコンアルコキシド）を原料としており、超高純度の石英ガラスの製造が可能です。
特に石英ガラスの寿命に影響を与えるアルカリ金属・アルカリ土類金属の著しい低減が可能です。
紫外領域から赤外領域までの広範囲にわたる波長を満足する石英ガラスの製造が可能です。（チタンフリー）
用途
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- 各種石英ガラス製品
- 半導体製造用石英ガラス製冶具
- 光ファイバー
- 光学部材
- 半導体向け冶具
- ランプ用チューブ
一般性状
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| 分子式 | SiO2 | ||
|---|---|---|---|
| 粒 度 | D50［μm］60-200（詳細はお問い合わせください） | ||
| 嵩密度 [g/cc] | 1.25 | ||
| 純 度 | Al［ppm］0.01＞ | Na［ppm］0.01＞ | Ca［ppm］0.01＞ |
| Ti［ppm］0.01＞ | Fe［ppm］0.02 | K［ppm］0.01＞ | |
| OH含有量［ppm］ | 30-60（詳細はお問い合わせください） | ||
（分析例）
荷姿
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ファイバードラム 50kg入り、200kg 入り