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- 三菱ケミカル株式会社 半導体セクター
- 半導体マテリアルズユニット
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MC1は電子工業用の高機能洗浄剤で、EL薬品の一種です。高性能なRCA代替洗浄剤です。パーティクルとメタルの除去性を併せ持つことにより、RCA洗浄の工程数を減少させ、お客様のトータルコスト低減に貢献いたします。
- 金属汚染の低減
- クロスコンタミ防止
特徴
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MC1は、ウエハー表面上のパーティクル除去性と、メタル不純物除去性を併せ持つEL薬品です。すなわち、RCA洗浄で必要とされてきたパーティクル除去を目的としたSC-1洗浄とメタル不純物除去を目的としたSC-2洗浄を一度に行なうことができます。
その結果、クロスコンタミをなくし、RCA洗浄の工程数を減少させ、洗浄液のライフ延長を図ることでトータルコスト削減につなげることが可能になります。
- 金属汚染の低減
- クロスコンタミ防止
用途
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RCA代替洗浄剤