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半導体製造プロセスにおけるシリコンウエハは、各種無機・有機物質により汚染されており、高清浄化実現のためには
の3つの機能が求められます。
スターシリーズはそれらの機能を満たし、高い洗浄効果を実現する電子工業用高純度プロセス薬品です。
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半導体製造工程における、シリコンウエハの洗浄
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