半導体製造プロセスにおけるシリコンウエハは、各種無機・有機物質により汚染されており、高清浄化実現のためには

1. 1.パーティクル除去
2. 2.有機残渣除去
3. 3.メタル除去

の３つの機能が求められます。
スターシリーズはそれらの機能を満たし、高い洗浄効果を実現する電子工業用高純度プロセス薬品です。

• EL塩酸
• EL硝酸
• EL安水

1. 1.30年来にも及ぶ長年の製造・販売実績
2. 2.大手半導体各社との取引を通じた品質の向上
3. 3.半導体回線幅の微細化にあわせた高純度化
4. 4.総合化学メーカーならではの高度な分析・品質管理技術を用いた万全の品質管理体制

半導体製造工程における、シリコンウエハの洗浄