三菱合成石英　半導体製造装置内パーツ用途

半導体製造装置内に使用される石英パーツの原料として最適です。
三菱合成石英は世界で唯一無二の素材であり、最先端の高精細な半導体デバイス製造にてOne and Only Solutionを提供します。

合成石英の概要

日々進む高度情報化社会を支えていくために、半導体デバイスの微細化・積層化が進むことで半導体製造プロセス内環境の厳格化が進んでいます。
この三菱合成石英を使用した半導体製造装置内パーツは、半導体製造プロセス上注意すべきメタル不純物や泡が少なく、石英パーツからの異物（パーティクル）の発生を防ぐ事ができます。
特に製造プロセス内のメタル不純物汚染を嫌う熱処理装置、エッチング装置、成膜装置への展開が可能です。
今後も、高度情報社会と、グリーンエネルギー化を目指して、日々、三菱合成石英の改善・開発を行なっていきます。

使用方法

三菱合成石英は、既存の天然石英粉用の溶融炉で溶融することが可能です。
大きな設備改善の必要なく、天然石英(5N)よりも高純度で泡の少ない石英材料(7N)の製造が可能となります。

使用のメリット

既存の他製品を使用し製造された母材と比較し、エッチング試験後の石英表面の荒れが少なく、パーティクルの発生を抑える事が可能です。
結果として、半導体製造プロセス内環境のクリーン度向上に寄与します。
お客様の実際のご使用環境に応じた最適な石英材料のご提案や開発を進めて行きます。
詳細ご興味あれば、お問い合わせよりご連絡下さい。