MC1是EL化学品的一种,是RCA替代型高性能清洗剂。由于它同时具备粒子和金属清除性,因此可减少RCA清洗工序,为客户降低总成本做出贡献。

  • 减少金属污染
  • 防止交叉污染

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特点

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MC1是EL化学品的一种,是用于硅晶片等处的RCA替代型高性能清洗剂。同时具备粒子和金属清除性。
MC1是同时具备晶片表面粒子清除性和金属杂质清除性的EL化学品。也就是说,可一次性完成RCA清洗工序中所必需的,以清除粒子为目的的SC-1清洗和以清除金属杂质为目的的SC-2清洗。
其结果是可避免交叉污染,减少RCA清洗工序,并通过延长清洗液的使用寿命而有助于降低总成本。

  • 减少金属污染
  • 防止交叉污染

用途

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RCA替代型清洗剂

产品阵容·规格

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Semiconductor Materials Dept.

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