- 以其他语言查看
在半导体生产中的硅晶片洗涤工序，应对半导体线路微细化进程的不断发展，对粒子、金属污染的除去要求极高。三菱化学生产的Star Series便是可满足这些要求，金属杂质在10ppt以下的高纯度电子工业用工序药品。
经营品种有：硝酸、盐酸、氨水
特点
[关闭]
在半导体生产工序中的硅晶片受到各种无机、有机物质的污染，要求通过高度清洗实现如下三项功能
- 1.去除粒子
- 2.去除有剂残渣
- 3.去除金属杂质
Star Series可满足这些功能要求，是可达到高效清洗效果的电子工业用高纯度工序产品。
产品阵容
- 盐酸
- 硝酸
- 氨水
Star Series（电子工业用高纯度工序药品）的特点
- 1.拥有长达30年的生产、销售业绩
- 2.通过与各大半导体公司的业务往来，质量不断提高
- 3.应对半导体线路微细化进程发展，提供高纯度产品
- 4.运用只有综合化学厂商独具的高端分析和品质管理技术，建立完备的品质管理体制
基于以上条件，Star Series实现了金属杂质10ppt以下的高纯度。三菱化学将充分发挥、运用这些经验， 面对今后也将不断发展的半导体线路微细化进程，进一步提高药品纯度。
用途
[关闭]
用于半导体生产中的硅晶片洗涤工序
