在半导体生产中的硅晶片洗涤工序,应对半导体线路微细化进程的不断发展,对粒子、金属污染的除去要求极高。三菱化学生产的Star Series便是可满足这些要求,金属杂质在10ppt以下的高纯度电子工业用工序药品。
经营品种有:硝酸、盐酸、氨水

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特点

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在半导体生产工序中的硅晶片受到各种无机、有机物质的污染,要求通过高度清洗实现如下三项功能

  1. 1.去除粒子
  2. 2.去除有剂残渣
  3. 3.去除金属杂质

Star Series可满足这些功能要求,是可达到高效清洗效果的电子工业用高纯度工序产品。

产品阵容

  • 盐酸
  • 硝酸
  • 氨水

Star Series(电子工业用高纯度工序药品)的特点

  1. 1.拥有长达30年的生产、销售业绩
  2. 2.通过与各大半导体公司的业务往来,质量不断提高
  3. 3.应对半导体线路微细化进程发展,提供高纯度产品
  4. 4.运用只有综合化学厂商独具的高端分析和品质管理技术,建立完备的品质管理体制

基于以上条件,Star Series实现了金属杂质10ppt以下的高纯度。三菱化学将充分发挥、运用这些经验, 面对今后也将不断发展的半导体线路微细化进程,进一步提高药品纯度。

用途

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用于半导体生产中的硅晶片洗涤工序

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