脱気・給気用膜モジュール

用途	機能	効果
LSI、LCD洗浄用水	溶存酸素の除去溶存炭酸ガスの溶解炭酸ガスの溶解	酸化皮膜の形成防止ポリッシャーへの負荷軽減電気伝導度の調整
ビル給水、空調用水	溶存酸素の除去	配管の腐蝕防止
食品用水	溶存空気の除去微量揮発性有機物の除去	充填量均一化、成分の酸化劣化防止安全性の向上
超音波洗浄用水	溶存酸素の除去溶存空気の除去	金属部品の防錆
分析装置用水	脱泡	微量定量性の向上
半導体薬液	マイクロバブル除去	パターン欠陥防止