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- 三菱ケミカル株式会社
- 半導体マテリアルズ事業部
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高機能薬液グループ
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AM1は高いパーティクル除去性とメタル除去性を併せ持つ高機能洗浄剤で、EL薬品の一種です。バッチ・枚葉洗浄共に適用可能な高性能RCA代替洗浄剤です。さらに、シリコンを腐食しないため、メタルゲート用洗浄剤としても優れた性能を持っています。
- 枚葉洗浄剤（高清浄な表面を短時間で実現）
- メタルゲート用洗浄剤（タングステン・シリコンの腐食防止）
特徴
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AM1は、ウエハー表面上のパーティクル除去性を画期的に高めるとともに、シリコンを腐食することなくメタル不純物を除去する性能を持つ電子工業用の高機能洗浄剤です。すなわち、RCA洗浄等のバッチ式洗浄で必要とされてきたパーティクル除去とメタル不純物除去の２段階洗浄を一度に行なうことができます。その結果、洗浄プロセスを簡略化することが可能になりました。
AM1は、バッチ・枚葉洗浄共に適用可能な高性能RCA代替洗浄剤です。
- 枚葉洗浄剤として、高清浄な表面を短時間で実現できます。
- メタルゲート用洗浄剤として、タングステン・シリコンの腐食防止に役立ちます。
用途
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RCA代替洗浄剤、メタルゲート用洗浄剤
