光致抗蚀剂用感光性聚合物Lithomax™

半导体电路形成时使用的光致抗蚀剂用感光性聚合物。
伴随电路图案尺寸的微细化，对应更加严格的质量要求（高纯度化、低金属化）。
承接范围涵盖从聚合物的设计到试制、量产。