电子束光刻用抗静电剂aquaSAVE™

aquaSAVE是用于电子束光刻工艺中的抗静电剂，能有效防止光刻胶表面的静电积聚。应用于世界先进的光掩模制造领域，有望改善因静电积累所带来的结构损伤问题。