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TEL:03-6262-0550 営業本部 企画管理室
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■ オンサイト薬液調合システム
①2種又は3種混酸を調合します。
(設備納入実績)
・Alエッチャント液 :H3PO4+HNO3+CH3COOH
・Siエッチャント液 :HNO3+HF、HNO3+HF+CH3COOH
②粉体又は高濃度原液を希釈調合します。
(設備納入実績)
・ITOエッチャント液 :(COOH)2 粉体
・現像液(カラーフィルター):Na2CO3 粉体
・剥離液(カラーフィルター):KOH 粉体
■ 特長
・2種又は3種混酸の調合システムが可能
・粉体から希釈調合システムが可能
・高精度インライン濃度測定装置装備
・物流費の削減に貢献
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■ 概略図
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