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- 三菱ケミカルエンジニアリング株式会社
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TEL:03-6262-0550 営業本部 企画管理室
当社製品 「オンサイト薬液調合システム」（OMS:On-site Mixing System）は、製造現場で使用する混合薬液をオンサイトで調合します。
高精度インライン濃度測定装置を装備しており、薬液の濃度を高精度で制御しています。
特徴
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■ オンサイト薬液調合システム
①2種又は3種混酸を調合します。
（設備納入実績）
・Alエッチャント液 ：H3PO4＋HNO3+CH3COOH
・Siエッチャント液 ：HNO3+HF、HNO3＋HF＋CH3COOH
②粉体又は高濃度原液を希釈調合します。
（設備納入実績）
・ITOエッチャント液 ：(COOH)2 粉体
・現像液（カラーフィルター）：Na2CO3 粉体
・剥離液（カラーフィルター）：KOH 粉体
■ 特長
・2種又は3種混酸の調合システムが可能
・粉体から希釈調合システムが可能
・高精度インライン濃度測定装置装備
・物流費の削減に貢献
用途
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液晶パネル製造関連設備、半導体関連製造設備
ラインナップ・仕様
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■ 概略図
