当社製品 「オンサイト薬液調合システム」(OMS:On-site Mixing System)は、製造現場で使用する混合薬液をオンサイトで調合します。 高精度インライン濃度測定装置を装備しており、薬液の濃度を高精度で制御しています。

三菱ケミカルエンジニアリング株式会社 オンサイト薬液調合システム[別窓表示]

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特徴

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 ■ オンサイト薬液調合システム 

①2種又は3種混酸を調合します。

(設備納入実績)
・Alエッチャント液    :H3PO4+HNO3+CH3COOH
・Siエッチャント液    :HNO3+HF、HNO3+HF+CH3COOH

②粉体又は高濃度原液を希釈調合します。

(設備納入実績)
・ITOエッチャント液    :(COOH)2   粉体
・現像液(カラーフィルター):Na2CO3 粉体
・剥離液(カラーフィルター):KOH    粉体

 

■ 特長

・2種又は3種混酸の調合システムが可能
・粉体から希釈調合システムが可能
・高精度インライン濃度測定装置装備
・物流費の削減に貢献

用途

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液晶パネル製造関連設備、半導体関連製造設備


ラインナップ・仕様

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■ 概略図

製品に関するお問い合わせ


三菱ケミカルエンジニアリング株式会社
  • TEL:03-6262-0011

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