オンサイト薬液調合システム

当社製品「オンサイト薬液調合システム」（OMS:On-site Mixing System）は、製造現場で使用する混合薬液をオンサイトで調合します。高精度インライン濃度測定装置を装備しており、薬液の濃度を高精度で制御しています。

特徴

[閉じる]

■　オンサイト薬液調合システム

①2種又は3種混酸を調合します。

（設備納入実績）
・Alエッチャント液　　　　：H3PO4＋HNO3+CH3COOH
・Siエッチャント液　　　　：HNO3+HF、HNO3＋HF＋CH3COOH

②粉体又は高濃度原液を希釈調合します。

（設備納入実績）
・ITOエッチャント液　　　：(COOH)2　粉体
・現像液（カラーフィルター）：Na2CO3　粉体
・剥離液（カラーフィルター）：KOH　　　粉体

■　特長

・2種又は3種混酸の調合システムが可能
・粉体から希釈調合システムが可能
・高精度インライン濃度測定装置装備
・物流費の削減に貢献

[閉じる]

液晶パネル製造関連設備、半導体関連製造設備

[閉じる]

■　概略図

三菱ケミカルエンジニアリング社のお問い合わせページへリンクします

お電話がつながりにくくなっています: 新型コロナウィルス感染拡大防止のため、社員のテレワークや時差出勤を実施しています。お電話がつながりにくい状況となっておりますので、お問い合わせフォームをご利用ください。

三菱ケミカルエンジニアリング株式会社