当社製品「現像液希釈システム」(DDS : Developer Dilution System)は、半導体や液晶パネル製造の現像工程で使用される現像液を、お客さまの工場内で“漸近法”を用いて高精度に希釈します。濃度調整済み現像液に比べ、現像液のコスト大きく軽減できます。

三菱ケミカルエンジニアリング株式会社 現像液希釈システム[別窓表示]

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特徴

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■ 特長

・お客さまのニーズに合わせた濃度分析ユニットの提案
・±0.002wt%以下の希釈調合精度の保証 (実績値  ±0.001wt%以下)
・ジェット撹拌により混合時間の短縮
・最先端半導体工場への実績あり


用途

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半導体関連製造設備、液晶パネル関連製造設備

ラインナップ・仕様

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     現像液希釈システム               概略図

 

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三菱ケミカルエンジニアリング株式会社
  • TEL:03-6262-0011

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