当社製品 「現像液濃度管理システム」は、液晶パネルなどの現像工程で使用されるTMAH(TetraMethyl Ammonium Hydroxide)等各種薬液の濃度を適時調整することにより、現像レートを安定させながら現像液の消費を削減します。

三菱ケミカルエンジニアリング株式会社 現像液濃度管理システム[別窓表示]

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特徴

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■ 特長 

・炭酸塩を含まない真の現像液濃度ならびにレジスト濃度・炭酸塩濃度の管理
・現像レート(CD値)を一定に制御可能
・多成分濃度系による現像成分をリアルタイムでモニタリング
・廃液再利用率を100%達成により原料TMAH、希釈水(超純水)の大幅削減

用途

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液晶パネルなどの現像工程で使用されるTMAH濃度、レジスト濃度、炭酸塩濃度の管理に使用されます。

ラインナップ・仕様

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 ■ 概略図

 

製品に関するお問い合わせ


三菱ケミカルエンジニアリング株式会社
  • TEL:03-6262-0011

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