当社製品 「薬液供給システム（CDS : Chemical Distribution System）」は、グループ会社 三菱ケミカルで培ったKnow-Howを活用し、高品質を維持しながら安全に各ユースポイントまで薬液を供給するシステムをご提供します。

三菱ケミカルエンジニアリング株式会社 薬液供給システム[別窓表示]

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特徴

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■　特長

・低コスト、省スペース
　薬液の性状を良く理解し、最適なコスト・スペースをご提案いたします。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
・環境負荷低減
　薬品使用量・廃棄物量を低減した、リサイクル化を目指したご提案をいたします。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
・スキーム作り
　システムだけでなく、廃棄物の引取り先まで含めたスキームについてもご提案いたします。

 

         　　　　　    

　（写真：薬液供給システム）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

用途

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半導体関連製造設備、液晶パネル関連製造設備、太陽電池パネル製造設備、Li電池製造設備等

■　用途

・ フォト工程：フォトレジスト・HMDS・現像液・シンナー等
・ エッチング工程：HNO3・HF・Al-Etch・ITO-Etch等
・ 剥離工程：剥離液等
・ 洗浄工程：H2SO4・H2O2・NH4OH・HCl・IPA等

■　設備納入実績

・68社、1,500システム以上

ラインナップ・仕様

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お客様の薬品使用量に合わせた供給システムがあります。

◆　少量供給：ドラム受け入れ　

 

◆　大量供給：ローリー受け入れ

 

　

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