当社製品 「薬液供給システム(CDS : Chemical Distribution System)」は、グループ会社 三菱ケミカルで培ったKnow-Howを活用し、高品質を維持しながら安全に各ユースポイントまで薬液を供給するシステムをご提供します。

三菱ケミカルエンジニアリング株式会社 薬液供給システム[別窓表示]

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特徴

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 特長

・低コスト、省スペース
 薬液の性状を良く理解し、最適なコスト・スペースをご提案いたします。                                                      
・環境負荷低減
 薬品使用量・廃棄物量を低減した、リサイクル化を目指したご提案をいたします。                                                 
・スキーム作り
 システムだけでなく、廃棄物の引取り先まで含めたスキームについてもご提案いたします。

 

                  

 (写真:薬液供給システム)                      

用途

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半導体関連製造設備、液晶パネル関連製造設備、太陽電池パネル製造設備、Li電池製造設備等

■ 用途

・ フォト工程:フォトレジスト・HMDS・現像液・シンナー等
・ エッチング工程:HNO3・HF・Al-Etch・ITO-Etch等
・ 剥離工程:剥離液等
・ 洗浄工程:H2SO4・H2O2・NH4OH・HCl・IPA等

■ 設備納入実績

・68社、1,500システム以上

ラインナップ・仕様

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お客様の薬品使用量に合わせた供給システムがあります。

◆ 少量供給:ドラム受け入れ 

 

◆ 大量供給:ローリー受け入れ

 

 

製品に関するお問い合わせ


三菱ケミカルエンジニアリング株式会社
  • TEL:03-6262-0011

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