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氮化镓基板

氮化镓(Gallium Nitride,GaN)是镓的氮化物,是化合物半导体的一种,属于宽禁带半导体。
CAS No.25617-97-4,
EINECS Number 247-129-0
三菱化学制造的氮化镓(GaN)基板是利用公司多年研发的氢化物气相外延技术(HVPE)和化合物半导体加工技术生产出的高品质单晶基板。 其特点是具有均一且高品位的结晶性与表面质量。
广泛用作各种LED(白光LED、紫外光LED、紫光LED、蓝光LED)的基板、蓝光光头用的蓝紫光LD(激光二极管)以及微型投影仪用的绿色LD基板等。 此外,正在研究开发用于功率元器件及高频元器件等电子元器件的基板。目前还着手开发可实现高品质、高生产效率的氨热生长法。该方法是基于液相生长方式的氮化镓基板制造方法。